潔凈室也叫潔凈室,無(wú)塵室或者清凈室,是指空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定級(jí)別的可供人活動(dòng)的空間。將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),控制微粒(塵埃粒子)的污染。來(lái)達(dá)到滿足精密產(chǎn)品的生產(chǎn)需求。潔凈室絕不是僅限于"潔凈",不同的行業(yè)與部門對(duì)溫度、溫度、照明、噪聲、靜電、微振都有相當(dāng)要求的多功能的綜合整體,集建筑裝飾(與大氣相對(duì)隔斷的密閉裝修)、凈化空調(diào)、純水、純氣、動(dòng)力電、照明電、工藝管道等多種專業(yè)技術(shù)于一體,按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定,亂流潔凈室新風(fēng)量應(yīng)不小于總風(fēng)量的10%-30%;單向流潔凈室,新風(fēng)量應(yīng)不小于總風(fēng)量的2%-4%,當(dāng)然也可以根據(jù)潔凈室的具體功能而定。
那么潔凈實(shí)驗(yàn)室有哪些分類呢,我們來(lái)看下
按照用途,可分為兩大類
①工業(yè)潔凈室-以無(wú)生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械
工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(
液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)?!?br />
②生物潔凈室:以控制有生命微粒(細(xì)菌)與無(wú)生命微粒(塵埃)對(duì)工作對(duì)象的污染。又可分為:
A.一般生物潔凈室,主要控制微生物(細(xì)菌)對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保持正壓。實(shí)質(zhì)上其
內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。
B.生物學(xué)安全潔凈室:主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。
按照氣流導(dǎo)向,可以分為以下四類:
①.單向流潔凈室(層流、活塞流、垂直流,平行流)
(1) 既氣流以均勻的截面速度,沿著平行流線以單一方向在整個(gè)室天花截面下通過的潔凈室。單向流潔凈室靠送風(fēng)氣流“活塞”般的擠壓作用。迅速把室內(nèi)污染排回風(fēng)道。
(2) 要想實(shí)現(xiàn)"活塞流"的作用,最重要的是高效過濾器必須滿布。但是由于高效過濾器有邊框,放置高鏟過濾器也要有支架,不可能百分之百的滿布。所以我國(guó)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定,垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
②.亂流凈室
亂流潔凈室是氣流以不均勻的速度是不平行流動(dòng),伴有回流或渦流。原理是亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,把室內(nèi)污染逐漸排出,來(lái)實(shí)殃潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級(jí)以上至30萬(wàn)級(jí)凈化級(jí)別)。亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈級(jí)別。換氣次數(shù)決定定義無(wú)反顧的凈化級(jí)別(換氣次數(shù)越多,凈化級(jí)別越高)
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間
③.輻射流(斜流)潔凈室
④.混合流潔凈室(亂流、層流同在)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
①潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):彈性擴(kuò)充容易;維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
②潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
③并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。另外還有潔凈工作臺(tái)和潔凈工作棚等。