光學(xué)電子凈化工程
光學(xué)電子凈化工程是將一定范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)而設(shè)計(jì)出的密閉空間。光學(xué)電子凈化工程已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造等行業(yè)不可或缺的主要設(shè)施。
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